检测范围
主要用来制备有机发光二极管（OLED）器件。该设备将有机物沉积和金属沉积整合在一个真空腔室内，实现了多种及多层薄膜的制备。该设备主要应用领域包括：OLED显示器、OLED照明、有机半导体、有机薄膜、有机电子等
仪器参数
1．*方箱型304不锈钢腔体，名义尺寸大约355mm宽x355mm深x610mm高。
2．*铝制前开门采用左右平移式，名义尺寸约355mm x610mm，前门用于集成手套箱。
3．*有铰链连接的铝制后门，用于设备维护。
4．*配有1个以上方形观察窗，观察窗配有挡板和安装衬玻璃的插槽。
5．用于安装真空泵、真空计以及其他仪器的接口，并尽可能配有空余的备用法兰口。
6．配有气动充气阀，可连接高纯氮气。
7．*两套不锈钢腔室内衬。
分享
