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原子力扫描探针显微镜
哈尔滨工业大学
安捷伦，5500
黑龙江省
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检测范围

可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析、突起与凹坑的统计处理、成膜条件评价、保护层的尺寸台阶测定、层间绝缘膜的平整度评价、VCD涂层评价、定向薄膜的摩擦处理过程的评价、缺陷分析

仪器参数

2个独立的扫描器；大范围扫描器XY方向100 mm x 100 mm ，Z方向8mm；小范围扫描器XY方向10 mm x 10 mm ，Z方向2mm
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