检测范围
激光器性能：连续激光器（半导体光纤传输）；工作波长：1064nm；激光功率：0-350W连续可调； 光束质量m2：≤30；功率稳定性：＜2%；XY平台行程：500mm×500mm；XY轴定位精度：≤±0.02mm；XY轴重复定位精度：≤±0.01mm；XY轴最大速度：12m/min；Z轴微调焦平台行程：50mm。
仪器参数
激光器性能：连续激光器（半导体光纤传输）；工作波长：1064nm；激光功率：0-350W连续可调； 光束质量m2：≤30；功率稳定性：＜2%；XY平台行程：500mm×500mm；XY轴定位精度：≤±0.02mm；XY轴重复定位精度：≤±0.01mm；XY轴最大速度：12m/min；Z轴微调焦平台行程：50mm。
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