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超精密形状与尺寸测量仪器校准系统
哈尔滨工业大学
自制，HIT-UOI-CYL
黑龙江省
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检测范围

圆度、圆柱度测量

仪器参数

主轴轴向误差：0.013μm;主轴径向误差：0.013μm;
                导轨直线度：0.08μm/100mm
　　　　　 仪器示值误差：小于等于0.20um/100mm；测量系统分辨力:1nm;最大承载重量为50kg。
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