电子束蒸发沉积系统-测试100仪器共享平台

电子束蒸发沉积系统
所在单位：	哈尔滨工业大学
品牌/型号：	LJ-UHV TECH.CO.LED，LJ-550E
所在地区：	黑龙江省
仪器说明：	我们目前尚未与哈尔滨工业大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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仪器介绍

检测范围

实现不同表面结构的膜层的制备

仪器参数

1. 极限真空度需达到5.0E-7torr。2. 从大气开始抽气，30分钟内真空度可抽到5.0E-6torr。3. 系统真空检漏漏率：≤5.0E-7 torr/s或关机12小时后系统真空度≤5.0E-1torr。4. 样品加热与冷却：石英灯加热在320℃以内,变化范围≦ ± 5 ℃，腔体可水冷；提供升温速度曲线，要求升温速率的可重复性好；5. 6"单基片实验型能够调整镀膜角度，最高可达到掠射角度89度。

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