非接触光学三维形貌测量系统
哈尔滨工业大学
TAIOYHABSON,CCI2000
黑龙江省
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检测范围

测量超精密加工和超光滑表面的粗糙度

仪器参数

0.01分辨率10--20秒测量时间,RMS重复性0.003A  测量范围1.8mm×1.8mm   0.36mm×0.36mm
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