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超高真空磁控与粒子束联合溅射设备
哈尔滨工业大学
沈阳科学仪器股份公司，FJL560
黑龙江省
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检测范围

高真空；磁控溅射；反溅清洗；制件退火

仪器参数

1、主溅室极限真空：6.6×10-6Pa；2、进样室极限真空：6.6×10-4Pa
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