检测范围
场发射扫描电镜(FE-SEM )可对材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量
仪器参数
分辨本领:二次电子像分辨率:：0.8nm @ 15 kV 1.6 nm @ 1kV，调整范围:20 V~30 kV,调整步长:每档 10 V 连续可调.
放大倍率:范围: 12×~1000,000×,放大倍数调整:粗、细调模式连续可调
扫描速率:0.1 秒/帧~30 分/帧(或更宽);扫描方式:全帧、选区、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜补偿
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