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光刻机
所在单位：	哈尔滨工业大学
品牌/型号：	ABM，ABM/6/350/NUV/DCCD/M
所在地区：	黑龙江省
仪器说明：	我们目前尚未与哈尔滨工业大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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曝光光刻金属

分辨率1-1.2UM；曝光视场全场光强90mW/cm2；曝光精度达3μm ；对准精度1 μm。

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