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扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)
哈尔滨工业大学
蔡司公司，EV018
黑龙江省
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检测范围

样品台为五轴全自动控制，标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析，可对各种材料表面作分析。

仪器参数

1.放大倍数，5×~3000,00×，连续可调；

2.分辨率，高真空二次电子像3.0nm（30kV），低真空背散射电子像＜4.5nm（30kV）；

3.真空度，最高真空度：优于0.1mPa，低真空压力范围：10Pa~400Pa；

4.可放置的最大样品尺寸，直径250mm，高度145mm，最大允许样品重量5kg
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