聚焦离子/电子双束系统(ion/electron double beams system)
哈尔滨工业大学
FEI,Helios NanoLab 600i
黑龙江省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

表面形貌及成分分析、FIB制样

仪器参数

二次电子像分辨率:0.9nm(15kV),1.4nm(1kV)
放大倍数:40~600000
加速电压:0.5~30kV
背散射电子像分辨率:2.0nm(30kV)
放大倍率:100x~ >1,000,000x
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