检测范围
主要用途: 用热硬化或者光硬化的材料涂布到各种板材上，进行冲压成型，再使用UV凝固成微细图案。
研究领域: 可用于制作微电子器件，光电子器件，生物传感器，微机电系统，超导电子学器件，磁电子学器件，是研究材料在低维度、小尺寸特性的重要工具。
仪器参数
技术指标: 品牌/型号：德国Suss MicroTec Lithography GmbH，SCIL
具体指标：纳米压印主机（SCIL Tool Set MA6）;压印模具的夹具（SCIL STAMP HOLDER MA6 W-150）;4英寸压印夹具（P Chuck MA6/BA6/SCIL/W-100）；
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