ICP刻蚀机-测试100仪器共享平台

ICP刻蚀机
所在单位：	西安交通大学
品牌/型号：	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，0
所在地区：	陕西省
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该刻蚀机具有稳定可靠的工艺性能、开阔的工艺窗口和良好的工艺兼容性和重复性，主要用于SOI和SOG刻蚀工艺，能够进行深槽、深孔、硅柱刻蚀，刻蚀速率均大于10μm/min,选择比大于50:1，刻蚀均匀性小于3%，Scallop小于200nm,CD lost小于0.5μm，Angle为90±2°

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