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场发射扫描电子显微镜
西安交通大学
FEI，0
陕西省
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仪器参数

分辨率：二次电子成像   高真空 30kV时1.0nm；1kV时3.0nm&0D;&0A;                       低真空 30kV时1.4nm；3kV时3.0nm&0D;&0A;        背散射电子成像 高真空 30kV时2.5nm&0D;&0A;加速电压：0.2Kv–30kV&0D;&0A;放大倍数：高真空模式下：14？-1000000？       &0D;&0A;电子枪：Schottky肖特基场发射电子枪&0D;&0A;        束流：1pA-200nA
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