电子束蒸发台-测试100仪器共享平台

电子束蒸发台
所在单位：	西安交通大学
品牌/型号：	HHV，TF500
所在地区：	陕西省
仪器说明：	我们目前尚未与西安交通大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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1. 设备主要沉积金属薄膜，如金、铂、银、铝、铜、铬、钛等材料，薄膜沉积速率、薄膜厚度在计算机上实时显示，并自动记录； 2. 工作腔室高达750mm，镀膜均匀性好，特别适合剥离（lift-off）工艺； 3. 设备特别适合蒸镀较厚的薄膜；

1.薄膜均匀性在4英寸范围内优于±5%；
2.水冷坩埚的数目为6个，坩埚的容量25cc；
3.自动坩埚导位功能，可以蒸镀多层膜；
4.Inficon薄膜沉积全自动控制，厚度实时测量。

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