五靶头高压共溅射镀膜系统
西安交通大学
德国于利希研究中心,CF-100
陕西省
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仪器参数

高度可调基片加热系统,基片温度最高可以达到950度、气压计(测量范围低于10(-6)mbar/真空度低于-8*10(-60)mbar/全自动气压控制系统
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