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等离子增强型化学气相沉积（PECVD）系统
西安交通大学
Trion，ORION Ⅲ
陕西省
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仪器参数

1、化学镀膜，不均匀性≤3%。2、4‘片*12，批。3、真空，375℃工作温度。
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