超声波扫描显微镜
西安交通大学
Sonosean,D9500
陕西省
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仪器参数

超声波检测子系统,最大扫描工作范围600*500*300mm,检测精度0.2μm,检测速度500mm/s;机械子系统 反射扫描和沁透扫描;系统软件 检测结果分析,计算缺陷面积所占整个界面源的百分比。
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