电子束蒸发台
西安交通大学
崇文科技,50BR
陕西省
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仪器参数

20分钟真空度<3*10-6torr,最终真空度<3*10-7torr,腔体可进行电子束蒸发和热蒸发,一次可沉积的金属≥4,蒸发速率和厚度控制2英寸厚度不均匀性<5%,腔体可水冷
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