检测范围
用于各种声、光、电特种器件的刻蚀，抛光，图形复印精度，取定研磨制造精度，分辨率优于0.5μm。
仪器参数
离子源口径：150mm；离子能量范围：0-800eV；工作离子能量范围：200-650eV；离子束流峰值密度：≥0.7；实用离子束密度：0.2-0.6；有效束径：≥100mm；系统极限压强：≤1*10-4Pa；系统工作本地压强：≤5*10-4Pa；氩气质量流量控制范围：0-10secm；准确度±15%、精度±0.2%；刻蚀角范围0-90°；刻蚀台自转速度：9rpm；刻蚀台表面温度：10℃-25℃
仪器特色&服务特色
用于各种声、光、电特种器件的刻蚀，抛光，图形复印精度，取定研磨制造精度，分辨率优于0.5μm。
分享
