检测范围
光源：钨灯丝。加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调*。放大倍数：5×~1000,000×，连续可调*。分辨率：高真空二次电子像3.0nm（30kV）*；低真空背散射电子像4.0nm（30kV）。探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调*。聚焦工作距离：2mm~145mm*。电子束气体路径长度：＜2mm
仪器参数
光源：钨灯丝。加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调*。放大倍数：5×~1000,000×，连续可调*。分辨率：高真空二次电子像3.0nm（30kV）*；低真空背散射电子像4.0nm（30kV）。探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调*。聚焦工作距离：2mm~145mm*。电子束气体路径长度：＜2mm。样品室内部尺寸：φ365mm×275mm。最大允许样品重量：不小于5kg。夹杂物分析测量范围：30nm～5mm。夹杂物分析方法：采用AFA技术，全自动实时动态分析。
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