X射线光电子能谱仪(X-ray photoelectron spectroscopy XPS)
西北工业大学
英国Kratos公司,Axis Ultra DLD
陕西省
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检测范围

本谱仪具备全自动同轴荷电中和技术,可以完善解决绝缘样品的电荷积累给XPS分析带来的困难。同时,本谱仪具备领先的成像能量分析器,可以实现FAT快速平行成像获得于固体表面元素成分及价态的面分布分析。

仪器参数

本谱仪具备能量分辨率可达0.45eV(Ag 3d 5/2),并配备大功率单色化X射线源以实现高灵敏表面化学状态分析,结合离子刻蚀可实现深度剖析XPS。
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