光刻机(gkj)
西北工业大学
德国休斯微技术公司,MA6
陕西省
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检测范围

单/双面光刻

仪器参数

波长范围:250nm~400nm; 极限分辨力:亚微米; 适用于4英寸硅片;5英寸光刻版;支持双面对准;
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