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场发射扫描电子显微镜(Field Emission Scanning Electron Microscope)
武汉大学
蔡司公司，SIGMA 03-27
湖北省
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检测范围

能进行各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。

仪器参数

分辨率：
1.3nm (20 kV)
2.8 nm(1 kV)
加速电压：0.1~30KV
放大倍数：12X~1000KX
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