仪器参数
显微镜：多种可选Multimode SPM扫描头
AS-0.5系列：横向(X-Y)范围0.4μm×0.4μm,竖直(Z)范围0.4μm
AS-12系列：横向(X-Y)范围10μm×10μm,竖直(Z)范围2.5μm
AS-130系列：横向(X-Y)范围125μm×125μm,竖直(Z)范围5.0μm
PF50：横向(X-Y)范围40μm×40μm,竖直(Z)范围20μm
2. 噪声：垂直(Z)方向上的RMS值＜0.3埃 （带防震系统的测量值）
3. 样品大小：直径≤15mm, 厚度≤5mm
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