扫描电子显微镜(scanning electron microscope)
江苏师范大学
日本日立公司,S-3400N Ⅱ
江苏省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

高分辨率;高低变真空;可采集二次电子图像和背反射电子图像,实时显示两个图像,也具有实时全屏显示图像的功能;具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度;真空系统使用涡轮分子泵,机械泵采用最先进的干泵,系统污染降低到最小程度;

仪器参数

放大倍数:5至30万倍;二次电子分辩率:3nmat30kV(高真空模式);10nmat3kV(高真空模式);背散射分辨率:4nmat30kV(低真空模式)。
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