扫描式电子显微镜(SEM scanning electron microscope)
常州大学
日本电子株式会社,JSM-6510
江苏省
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检测范围

1.可以非破坏性地分析测定各种物质的表面形态及成份的分析。2.可对各种固体物质进行定性定量分析、元素组成及分布分析。

仪器参数

1.分辨率:高真空状态下3.0nm(30KV)。2.放大倍数在5-300,000倍范围内可调。3.加速电压在0.5KV-30KV范围内可调。4.成像模式分为二次电子像、背散射电子像、立体像等。5.样品室可倾斜(-10度至90度)。6.能谱仪分辨率为130eV,可分析元素为Be-U。7.非导电样品可蒸镀铂金膜。
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