检测范围
材料表面清洗与活化，材料表面离子注入改性及多种功能薄膜的制备。
仪器参数
考夫曼离子源：栅网口径：6cm，离子能量：100-600eV，离子束流：100mA，不均匀性：±15%，均匀区：ф170mm，距离：300m，工作气体：氩或氧。多弧电源：电源电压：AC220V±15%,50/60HZ，额定输入功率：7KVA，额定输入电流：32A，额定输出电压：20-40V（可调），开关频率：100KHZ，输出电流：20~120A（连续可调）。金属离子源：单电荷离子能量范围为20~80Kev，平均离子束流：≧10mA，引出电压：20-80kV，束斑直径：10cm，金属源尺
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