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传感器芯片设计和工艺仿真软件IntelliSuite V8.6(Sensor chip design and process simulation software)
南京信息工程大学
江苏英特神斯科技有限公司，V8.6
江苏省
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MEMS专业设计与模拟仿真有限元软件，提供从概念设计到产品制造的MEMS解决方案，用于设计、分析、仿真传感器、加速度计、激励器、生物微流芯片、射频开关和光学MEMS器件。

仪器参数

MEMS传感器芯片设计仿真
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