检测范围
该设备用于研究材料的纳米及软物质材料的表面性质及进行化学成分的分析。谱定性分析：可自动标识谱峰，可进行谱重构，对重叠峰进行峰剥离；具有可判定定性分析准确性的HPD功能。谱定量分析：采用ZAF无标样定量计算；具备定量面分布检测功能线扫描和面扫描：能与电镜主机系统
仪器参数
高真空-0.8nmat30kV(STEM)-1.2nmat30kV(SE)-2.5nmat30kV(BSE)-3.0nmat1kV(SE)低真空-1.5nmat30kV(SE)-2.5nmat30kV(BSE)-3.0nmat3kV(SE)□加速电压:200V–30kV□电流:upto100nAGENESISXM2forSEM扫描电镜能谱仪Si(Li)液氮制冷型，超薄窗口，晶体活区面积10mm2
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