X-射线光电子能谱仪(X ray Photoelectron Spectroscope)
苏州大学
岛津公司,ULTRA DLD
江苏省
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检测范围

1多功能集成:XPS,ParallelXPSMapping,UPS,FE-AES,AugerMapping,ISS2表面灵敏:检测极限~0.1atomic%3信息量大:元素成分、价态、分布和深度剖析的定性/定量分析4分析元素范围宽:除H、He以外的所有元素(典型的是:3Li~92U)5无损检测:6快速成像:

仪器参数

XPS分辨率1evUPS分辨率0.2ev分析室真空低于1.0×10-9Torr制备室真空低于1.0×10-9Torr
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