检测范围
该设备是有机光电半导体器件和功能纳米器件制备的重要设备。途主要用于有机薄膜和金属薄膜/电极的蒸镀，单层及多层功能薄膜材料的蒸镀，有机OLED和OPV器件的制备和研究。
仪器参数
该设备主要由蒸发沉积室、手套箱、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品传递装置、计算机控制系统、电控系统、配气系统等部分组成。标准配置：(1)全自动计算机控制(蒸发源、膜厚、样品台、真空);(2)计算机控制样品和挡板转动、换样;(3)12个蒸发源(4个金属源、8个有机源);(4)可同时控制三个蒸发源的速率和相对比率;(5)4个石英晶振膜厚监控仪;(6)样品台可同时支持3片基板和3片掩模板:(7)连接氮气手套箱(带匀胶机);(8)冷却泵+机械泵;(9)冷却水+氮气充气
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