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高真空蒸发镀膜机(High vacuum evaporation coating machine)
苏州大学
英国 黑斯廷斯，科特?莱思科，Mini-SPECTROS MINI-Spectros organic thin film Deposition System
江苏省
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检测范围

该设备是有机光电半导体器件和功能纳米器件制备的重要设备，主要用于有机薄膜和金属薄膜/电极的蒸镀，单层及多层功能薄膜材料的蒸镀，有机OLED和OPV器件的制备和研究

仪器参数

该设备主要由蒸发沉积室、手套箱、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、计算机控制系统、电控系统、配气系统等部分组成。配置：全自动计算机控制蒸发源、膜厚、样品台和真空度；计算机控制样品和挡板转动；4个有机源、2个金属源；3个石英晶振膜厚监控仪；连接氮气手套箱（带匀胶机）；冷却泵+机械泵；
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