检测范围
同时显示两幅图像画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。微细结构测量适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像，保存在文件中。
仪器参数
高真空模式：3.0nmat30kV;8.0nmat3kV;15.0nmat1kV低真空度：1to270Pa，高、低真空切换全对中样品台：X:80mmY:40mmT:-10to+90度R:360度加速电压：0.5kVto30Kv束流1pA—1uA放大倍数：5----300,000倍
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