扫描探针显微镜(scanning probe microscope)
苏州科技大学
Bruker(布鲁克(北京)科技有限公司),Multimode 8
江苏省
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检测范围

扫描探针显微镜系统可检测样品的表面形貌,微区磁、电性能,其分辨率可达纳米甚至亚纳米量级。SPM还可实现单原子操控及纳米刻蚀,是研究和制备微纳器件的必备工具。

仪器参数

系统可实现接触模式、轻敲模式、智能扫描模式、相位成像、STM、磁力显微镜、电场力显微镜、表面电势、压电响应以及扭矩共振、纳米刻蚀等模式及功能。配备两个扫描器,扫描范围X/Y分别不小于100um和10um,系统噪音水平:X/Y方向小于0.2nm,Z方向小于0.03nm。配防震平台,能持续稳定实现原子像测量。
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