原子层化学气相淀积系统(Atomic layer deposition)
苏州科技大学
Picosun Oy,SUNALER-150
江苏省
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检测范围

可以沉积二元、三元或更多元薄膜、梯度薄膜、(纳米)叠层、掺杂薄膜

仪器参数

适合沉积纳米层状薄膜(2-200nm)
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