检测范围
材料微观组织的形态、晶体结构、成分等分析。主要功能有：明场、暗场形貌像，高分辨像，Z衬度高分辨像，选区衍射，会聚束衍射，微衍射，能谱仪成份分析，电子能量损失谱，电子能量过滤，原位拉伸，原位拉伸，三维重构，旋进电子衍射，位向成像，纳米织构分析等。
仪器参数
热场发射电子枪能量色散度：≤ 0.8eV 放大倍数：60x – 1000 kx；STEM放大倍数：150x – 230 Mx 点分辨率：0.20nm；线分辨率：0.102nm；信息分辨率：0.14nm；STEM HAADF分辨率：0.17nm;加速电压：300 kV, 连续可调
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