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样品制备仪器系统(Precision Ion Polishing System)
西北工业大学
Gatan 公司，PIPS 691
陕西省
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检测范围

精密离子减薄仪、凹坑仪、超声波切割机、研磨器、截面试样包等全套制样仪器，以及电解双喷减薄仪。用于透射电镜薄膜样品制备

仪器参数

双离子枪，最大研磨角：±10°，离子束能量： 1.5~6 keV，真空度：     5x10-6 Torr
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