检测范围
二次电子和背散射电子对材料表面微观形态进行高分辨观察分析。
能谱仪进行微区元素的点分析、线分析和面分析。
电子背散射衍射仪进行微观组织、相鉴定、织构、晶粒尺寸、晶界特性等方面的分析。
拉伸弯曲台可在拉伸弯曲过程中进行图像观察，分析试样的力学性质与形貌的关系。
仪器参数
扫描电镜：场发射电子枪，放大倍数 30万倍，分辨率 1nm，加速电压 30KV X射线能谱仪：分辨率 133ev, 可检测元素 4Be~92U 电子背散射衍射仪：空间分辨率 0.1mm，最大采集解析速度 100点/秒 原位拉伸弯曲台：最大载荷 5000N，载荷精度 小于1%，位移精度 0.01mm
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