近空间升华炉(Close Space Sublimation)
西北工业大学
西安云汉高温炉业有限公司,ZR10-φ80×130-XYL
陕西省
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所有仪器

分析仪器

检测范围

用于生长微米级的单质或化合物薄膜,广泛用于半导体及光伏领域

仪器参数

5×10-4 Pa,最高工作温度1000 ℃,加热区面积400×450 mm2,
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