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硬脆材料精密平面磨削装置
广东工业大学
Lapmaster SFT Corp，DMG-6011V
广东省
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仪器参数

工作台转度：1-400rpm，主轴转速：800-4000rpm，主轴最小移动速率：0.01μm/sec

仪器特色&服务特色

使用8000#砂轮对SiC材料进行磨削，获得Ra2.57nm表面
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