检测范围
场发射扫描电镜具有超高分辨率（1nm/30kV，3 nm/3kV），能对多种样品进行照相，并获得倍率高于100000倍的高清晰数字图像（有效放大倍数：40X~300000X），可观测导电、不导电、含水样品。样品室抽真空时间较短（<150秒）；加速电压范围：200V~30KV；样品台移动范围较大：X/Y :
仪器参数
超高分辨率（1nm/30kV，3 nm/3kV）；有效放大倍数：40X~300000X; 加速电压范围：200V~30KV
仪器特色&服务特色
尤政：精仪系 陈兢：北京大学信息学院朱荣：精仪系 严清峰：化学系 任大海：精仪系 梁桂强：机械系 钱鹤：微电子所 吴华强：微电子所 蔡坚：微电子所 王喆垚：微电子所 伍晓明：微电子所 王敬：微电子所 邓宁：微电子所 刘泽文：微电子所
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