检测范围
可以进行常温和变温条件下的IV、C-V、脉冲IV的测试。
仪器参数
Agilent B1500A装有4个SMU，其中两个高分辨（HR），两个高功率（HP）。电流的分辨能力达到了1fA，C-V模块的交流信号频率为1kHz-5MHz。
仪器特色&服务特色
清华大学微电子学研究所各研究室的本硕博学生和科研人员；清华大学化学系邱勇课题组；清华大学化学系姚文清课题组；清华大学机械系朱宏伟课题组； 清华大学精密仪器系；北京理工大学丁英涛课题组；中科院半导体所潘教青课题组；中科院半导体所薛春来课题组；中科院空间研究中心；解放军总参3所王孜课题组；
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