检测范围
1、???? 样品衬底在蒸镀前可以通过离子枪进行清洁。2、 ? ??样品台的三维转动（平面内和垂直于平面）。3、???? 可以注入气体（特别是氧气），并且可控制其压强。4、???? 蒸镀厚度控制：频率：10-4 Hz；沉积速度分辨率：0.001 nm/s；沉积厚度分辨率：0.01nm/s；沉积厚度可重复
仪器参数
1、?????真空度< 2x10-7?Torr?(可达到3.0×10-8?Torr)。2、?????电压源型号ST6；电压2-10kV可调，电子束流0-0.6A。3、?????样品台可以适用于6英寸晶片。4、?????电子枪离子电压:100-1000eV。
仪器特色&服务特色
该设备的常用用户包括交叉信息院等院系的研究生、博士后等科研人员。
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