高真空镀膜仪(Is improving)
清华大学
Denton,DV-502B
北京市
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检测范围

高真空系统可实现超薄碳支持膜的铺制,重复性强,操作简便,安全系数高。

仪器参数

配备分子泵Hi-Vac Pump真空系统,可使溅射舱室达到10-6的高真空状态;操作界面配备彩色触摸屏操作面板,可实现自动化镀膜的精细控制;具有自动进气系统,可实现舱室破真空的自动控制;舱室罩可通过触摸屏操作进行自动升降;配备厚度检测装置。

仪器特色&服务特色

施一公、李雪明、姚骏、俞立等多个实验室应用该仪器铺制超薄碳支持膜。
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