扫描电子显微镜(Is improving)
清华大学
FEI,NOVA SEM450
北京市
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检测范围

超稳定高电流 Schottky 电子枪;多种SE,BSE探测器;加速电压:50V - 30kV,连续可调;配备EDAX的能量色散谱仪;RAITH的电子束曝光系统。

仪器参数

高真空模式分辨率:1nm ( 15KV);1.6 nm (1KV);? ? ?低真空模式分辨率:1.5nm(10kV),1.8nm(3kV,30pa)

仪器特色&服务特色

清华-富士康纳米研究中心
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