检测范围
离子束刻蚀机配置高性能的离子源，可在不同离子能量条件下，获取相对较大束流能力、较大束流平度、较小束散角和较高束流稳定度，采用抗热变形平面双Mo栅自对准安装式离子光学系统，配置专用六组合高可靠性、高稳定性离子源电源，具备适应离子源动态负载变化的优良特性，离子
仪器参数
Ar+离子能量可调范围：0~1000eV；Ar+离子束流峰值密度：≥0.8mA/cm2；有效束径：≥100mm(模式L)；Ta阴极丝直径：0.25mm；工件台面旋转速度: 9rpm;工件台面直径：15cm;系统极限压强: 8E-5Pa。
仪器特色&服务特色
清华大学物理系超导电子学实验室
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