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场发射扫描电子显微镜(Is improving)
清华大学
蔡司，Merlin Compact
北京市
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检测范围

固体/粉末样品形貌观察，二次电子像，背散射像。能谱分析（元素范围：Be-U）

仪器参数

加速电压：0.05-30kV；探测器：SE2，InlensDuo，BSE；分辨率：1.0nm/15kV，1.7nm/1kV； 能谱探测范围：B4-U92

仪器特色&服务特色

清华大学，中国地质大学（北京），北京航空航天大学，北京科技大学，中科院过程所
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