双电子枪倾斜式真空镀膜系统(Is improving)
清华大学
金盛微纳,订制
北京市
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检测范围

倾斜式镀膜真空系统,可以实现对两种材料的共沉积

仪器参数

加热温度800度,真空度10-5Pa,基片可液氮冷却,双电子枪,功率6kW

仪器特色&服务特色

张政军课题组,两种材料的一维实心纳米结构制备
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