检测范围
1.电磁式电子枪自动对中; 2.可以提供四种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,很方便寻找样品位置; 3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵，电子枪部分使用离子泵，抽真空速度快,在更换样品后,三分钟
仪器参数
分辨率:高真空(二次电子):1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV,2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV (背散射电子): 2.0 nm at 30 kV(LMH型选配，LMU型标配) 低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV ,3.0 nm at 3 kV?
仪器特色&服务特色
北京科技大学、北京航空大学、北京航空材料研究院、四川材料所等
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